Wirtschaftsspiegel Thüringen – Ausgabe 01/2021

Thüringen 37 Foto: DZP/Ansgar Pudenz Preisgekrönte Forschung „made in Thüringen“ Deutscher Zukunftspreis an Jenaer Wissenschaftler Der „Deutsche Zukunftspreis“ für das Jahr 2020 geht erneut an eine Innova- tion, die unter maßgeblicher Beteili- gung von Forschern des Fraunhofer- Instituts für Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF) entwickelt wurde. Gemeinsam mit den Unternehmen Zeiss (Oberkochen) und Trumpf (Ditzingen) entwickelte das IOF ein völlig neuarti- ges Verfahren zur Herstellung von Mik- rochips – die „EUV-Lithographie“. Wis- senschaftsminister Wolfgang Tiefensee gratulierte dem gesamten Entwick- lungsteam zum Gewinn des Preises, der in Berlin von Bundespräsident Frank- Walter Steinmeier übergeben wurde. Mit der EUV-Lithographie lassen sich mikroelektronische Bauteile herstellen, die wesentlich kleiner, energiesparen- der und zugleich leistungsfähiger sind als herkömmliche Mikrochips. Um das zu erreichen, arbeitet das neue Ver- fahren mit sehr kurzwelligem UV-Licht. Dies erlaubt es, wesentlich kleinere Strukturen zu erzeugen, die nur wenige Nanometer groß sind. Auf diese Weise können mehrere Milliarden Transistoren auf einer Fläche von der Größe einer Fingerkuppe integriert werden. Das Land unterstützt das IOF in Jena seit 1992 im Rahmen seiner institutionellen Forschungs- und Projektförderung. So finanziert das Land bis 2023 einen drit- ten Bauabschnitt zur Erweiterung des Institutsgebäudes mit 50 Prozent der Gesamtkosten in Höhe von 25 Millionen Euro. Zudem unterstützt das Land aktu- ell verschiedene Projekte im Bereich des Zukunftsfelds Quantenkommuni- kation. Das Fraunhofer-IOF in Jena erhielt den Deutschen Zukunftspreis des Jahres 2020 bereits zum dritten Mal nach 2007 und 2013. (em/tl)

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